多波长可选激光干涉仪

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PHASICS在光学测量学上进行创新,研制了一种既能测量透射波前误差又能测量反射波前误差(TWE/RWE)的仪器。可在其工作波长环境下测量直径为5.1英寸(130毫米)的涂覆或未涂覆光学元件。

KaleoMultiWAVE是需求多个干涉仪的有利替代方案,可极大的节约成本该系统具有与Fizeau干涉仪相当的测量精度。

KaleoMultiWAVE可选择多种工作波长,使其在实际工作波长环境下进行光学和涂层的鉴定分析。


主要特点:

l  最多可在同一干涉仪上集成8个波长的激光

l  超高动态范围

l 可用于WFE 或 MTF测量 

l 兼容MetroPro&ISO

l 具有极强的抗震性


应用领域:

l 光学和滤波器制造商

l  滤波器制造商

l  空间和国防

l 汽车或手机制造商

 

可选择的激光波段如下图所示:

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产品参数:

配置

双通道

标准波长

625 / 780 / 1050 nm

定制波长

400 to 1100 nm 或其他波长可选

通光孔径

5.1" (130 mm)

重复性(ISO5725

<5 nm RMS

再现性(ISO5725

<7 nm RMS

动力学(散焦)(RWE

10 μm PtV

动力学(散焦)(TWE

200 nm RMS

准确度(RWE

<80 nm PtV

准确度(TWE

<20 nm RMS

尺寸

910 x 600 x 260 mm

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测量结果与Fizeau干涉法相近

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                                               NBP-780nm 相同瞳孔上的两个测量值的差值小于40 nm pTv


我们的多波长干涉仪与传统FIZEAU干涉仪测量精度对比如下表所示


FIZEAU

PHASICS

直径 (mm)

124.9

125.4

RWE (nm PtV)

1498.13

1535.38

RWE (nm RMS) without PST/TLT/PWR

35.2

28.1

RWE (nm RMS) without ST/TLT/PWR/AST/CMA/SA

9.1

12.9

 

ISO 10110

SAG (fr)

5.13

5.04

IRR (fr)

0.75

0.61

RSI (fr)

0.34

0.23

RMSt (fr)

1.477

1.459

RMSi (fr)

0.129

0.103

RMSa (fr)

0.085

0.059