3轴高精度PIMars纳米定位平台(P-561 ? P-562 ? P-563)

PIMars纳米位平台

用于多达3轴的高精度纳米定位系统

 

 

 P-561 ? P-562 ? P-563

§联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度图片1.png

§ 行程达300 × 300 × 300微米

§ 电容式传感器带来最高线性度

§ 间隙,高精度柔性铰链导向系统

§ 优异的扫描平面度

§ 动态XYZ版本

§ 通孔尺寸66 毫米×66毫米

§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿

§ 超高真空版本达10-9百帕

 

 应用领域

§ 扫描显微镜

§ 掩模/圆定位

§ 测量

§ 测量技术

§ 生物技

§ 扫描和筛选

 

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

 

带电容式传感器,实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

 

间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。

 

动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub- D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。


联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿(取决于带宽)(主动导向)。即使在动态操作中,跟踪精度也可高达纳米级。

 

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

 

 


P-561.3CD P-561.3CL

P-562.3CD P-562.3CL

P-563.3CD P-563.3CL

P-561.3DD

单位

公差

PIMarsXYZ压电陶瓷纳米定位系统, 闭环行程

100 × 100 × 100

200 × 200 × 200

300 × 300 × 300

45 × 45 ×

15,直接驱动

微米


动和定位







集成传感器

电容式

电容式

电容式

电容式



-20120时的开环行程

150 × 150 × 150

300 × 300 × 300

340 × 340 × 340

58 × 58 × 18

微米

+20 % / - 0 %

分辨率,开

0.2

0.4

0.5

0.1

纳米

典型

分辨率,闭环

0.8

1

2

0.2

纳米

典型

线性误差

0.03

0.03

0.03

0.01*

%

典型

X/Y/Z向上的重复精度

2 / 2 / 2

2 / 2 / 4

2 / 2 / 4

2 / 2 / 2

纳米

典型

XY向上的螺距

±1

±2

±2

±3

微弧度

典型

θXθY向上的串扰(Z向运动)

±15

±20

±25

±3

微弧度

典型

XY向上的偏转角

±6

±10

±10

±3

微弧度

典型

XY向上的平面度

±15

±20

±25

±10

纳米

典型

XY向上的串扰(Z向运动)

±30

±50

±50

±20

纳米

典型

机械特性







X/Y/Z向上的空载谐振频率

190 / 190 / 380

160 / 160 / 315

140 / 140 / 250

920 / 920 / 1050

±20 %

100负载时X/Y/Z向上的谐振频率

-

145 / 145 / 275

120 / 120 / 215

860 / 860 / 950

±20 %

330负载时X/Y/Z向上的谐振频率

140 / 140 / 300

130 / 130 / 195

110 / 110 / 170

500 / 500 / 470

±20 %

负载容量**

5

5

5

5

千克

最大

驱动特性







 

压电陶瓷

 

PICMAP-885

 

PICMAP-885

 

PICMAP-885

PICMAZ向上的P-

885XY向上的P-

888



X/Y/Z向上的电容

5.2 / 5.2 / 10.4

7.4 / 7.4 / 14.8

7.4 / 7.4 / 14.8

38 / 38 / 6

微法

±20 %

其他







工作温度范

-20 80

-20 80

-20 80

-20 80

°C



 


P-561.3CD P-561.3CL

P-562.3CD P-562.3CL

P-563.3CD P-563.3CL

P-561.3DD

单位

公差

材料



质量

1.45

1.45

1.45

1.55

千克

±5 %

 

 

传感器/电压连接

CD版本: Sub-D

25W3(公头),

1.5电缆

CL版本: LEMO

CD版本: Sub-D

25W3(公头),

1.5电缆

CL版本: LEMO

CD版本: Sub-D

25W3(公头),

1.5电缆

CL版本: LEMO

CD版本: Sub-D

25W3(公头),

1.5电缆

CL版本: LEMO



 

推荐电控

E-503E-505E- 621E-712E-

727

E-503E-505E- 621E-712E-

727

E-503E-505E- 621E-712E-

727

E-503E-505E- 621E-712E-

727



 * 带数字式控制器。 使用模拟控制器测量的直接驱动平台的非线性度高达0.1%的典型值。

** 水平安装时(立于表面上,非悬挂式).

PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。

超殷钢和钛金属版本可供货。询问定制版本。


图纸/图片

1561617932377419.png

                                                                                                  P-56x.3CDP-56x.3CL,尺寸单位为毫米


1561617999196745.png

                                                                                                               P-561.3DD,尺寸单位为毫米


1561618733215916.png

                                                                                P-562.3CD的响应行为:XYZ向上的步进和稳定在10毫秒以内

订购信息

P-561.3CD

具有长行程的PIMars XYZ纳米定位系统,100 微米 × 100 微米 × 100 微米,Sub-D连接器,电容传感器,平行计量

P-561.3CL

具有长行程的PIMars XYZ纳米定位系统,100 微米 × 100 微米 × 100 微米,LEMO连接器,电容传感器,平行计量

P-561.3DD

PIMars动态XYZ纳米定位系统,45 微米 × 45 微米 × 15 微米,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器,直接驱动

P-562.3CD

具有长行程的PIMars XYZ纳米定位系统,200 微米 × 200 微米 × 200 微米,Sub-D连接器,电容传感器,平行计量

P-562.3CL

具有长行程的PIMars XYZ纳米定位系统,200 微米 × 200 微米 × 200 微米,LEMO连接器,电容传感器,平行计量

P-563.3CD

具有长行程的PIMars XYZ纳米定位系统,300 微米 × 300 微米 × 300 微米,Sub-D连接器,电容传感器,平行计量

P-563.3CL

具有长行程的PIMars XYZ纳米定位系统,300 微米 × 300 微米 × 300 微米,LEMO连接器,电容传感器,平行计量